光学表面分析仪是指将偏振光椭圆率测量、反射测量、散射测量、显微光波干涉测量等多种方法集成于一体，一次性检测材料的所有缺陷的仪器设备。由于不同缺陷产生的信号，容易被一种光学技术探测，但采用另一种技术时，却很难发现1。例如，表面光度仪能发现小丘，或透明晶片上的类似问题，但沾污只能用椭偏计或反射计探测。同样地，散射计不能探测的浅坑，用椭偏计却能清楚地探测出来。因此此种仪器应运而生。