X射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层（K，L或M层）电子被激发逐出原子而引起电子跃迁，并发射出该元素的特征X射线荧光。每一种元素都有其特定波长的特征X射线。能散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）利用荧光X射线具有不同能量的特点，由探测器本身的能量分辨本领来分辨探测到的X射线。

    由光源激发样品所产生的特征X射线直接进入探测器，探测器将光信号转化为电信号，由主放大器输出的脉冲传送到ADC（模数转换器），脉冲幅度的模拟信号在这里转换成数字信号，产生的数字作为与多道分析器（MCA）连接的地址，然后根据这些地址分检不同的脉冲即X射线的能量，并记录相应的脉冲数目。