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金蚀刻剂8148,TFA,8110,8111
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钽蚀刻剂SIE-8607
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氮化硅,氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH-N
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钛蚀刻剂TFT,TFTN
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镍蚀刻剂TFB,TFG,I型
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