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>
原料、中间体、气体
>
刻蚀液
钛蚀刻剂TFT,TFTN
品牌:
Transene
包装:
4L
产地:
美国
索取资料及报价
产品名称
TITANIUM ETCHANTS
产品介绍
钛蚀刻剂
钛蚀刻剂是应用于半导体制作和薄膜微电子技术的选择性控制蚀刻剂。
钛蚀刻剂
TFT
是设计用来蚀刻通常在微电子产品中作为连结层和阻挡层的蒸发法薄膜的蚀刻剂。这种蚀刻剂光刻胶匹配性良好、分辨率高、边下蚀现象低。
钛蚀刻剂
TFTN
用来蚀刻玻璃或
SiO
2
基板上的Ti沉积膜。TFTN并不含有氢氟酸。
性质
TFT
TFTN
外观
澄清水溶液
澄清水溶液
PH
1
1
闪点
不可燃
不可燃
贮存
室温
室温
有效期
1年
1年
毒性
强酸
强酸
操作
蚀刻容器
聚乙烯
/聚丙烯
聚乙烯
/聚丙烯
温度
20~
50℃
70~
85℃
蚀刻速率
25 Å/秒,
20℃
50 Å/秒,
30℃
10 Å/秒,
70℃
50 Å/秒,
80℃
冲洗
水
水
*匹配光刻胶
阴性和阳性
阴性和阳性
金属
——
除
Al以外的大多数金属
*KPR/KMER/KTFR:
PKP(Transene);AZ/RISTON/ETC.
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烟台科瑞尔化学科技有限公司
电话:
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0535-6350522 15201368992
联系人: 杨先生
地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29号1506室
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