镍铬蚀刻剂TFC和TFN
产品介绍
镍铬蚀刻剂TFC和TFN | 镍铬蚀刻剂TFC和TFN设计用来蚀刻镍铬薄膜以制备微电子产品。镍铬蚀刻剂阴、阳性光刻胶都具有良好匹配性,能蚀刻出细线条,而边下蚀极低。经0.2微米过滤的高纯度配方剂适合于制作高严格度的微电子产品。 TFC 蚀刻速率较低,可精密控制 TFN 极好的细线蚀刻控制,操作均匀一致,边下蚀低。 特点 ·高纯度 ·0.2微米过滤 ·与阴,阳性光刻胶匹配性良好 ·可细条控制 ·蚀刻速率均匀 说明 TranseneTFC和TFN是分别基于硫酸铈和高铈铵硝酸盐的高纯度体系。镍铬在薄膜电路制作中可提供清晰、精密的蒸发镍铬层。这些镍铬蚀刻剂是由紫外高纯半导体级试剂组成,并经0.2微米过滤去除了细微颗粒物质。 性质
| TFC | TFN | 外观 | 橙色 | 橙色 | 化学物质基 | 硫酸铈 | 高铈铵硝酸盐 | 比重 | ----- | 1.127-1.130 | 过滤 | 0.2微米 | 0.2微米 | 操作温度 | 25℃ | 40℃ | 蚀刻速率 | 30 Å /秒,25℃ | 50 Å /秒,40℃ | 蚀刻能力 | 168g/加仑 |
| 冲洗 | 1%硫酸/去离子水 | 去离子水 |
应用 镍铬蚀刻剂可以在室温下操作,也可以在较高温度下操作以提高速率。镍铬蚀刻剂要求首先用1%硫酸冲洗,而后再以去离子水冲洗,以便除去蚀刻液残余物。镍铬蚀刻剂TFN是一个改进配方,它可以蚀刻出更加清晰的线条,而且无需立刻冲洗。 |
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烟台科瑞尔化学科技有限公司电话: 点击&查看0535-6350522 15201368992联系人: 杨先生地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29号1506室
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