TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制，自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
技术参数
测量范围
薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量厚度最小示值（nm）
≤1
偏振器方位角范围
0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角
0.014°/步
测量膜厚（nm）
±1
折射率重复性精度
±0.01
度盘刻度
每格1度
仪器测量精度（nm）
±0.5（薄膜厚度在10-100nm时）
入射角调节范围
20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm）
632.8
光学中心高（mm）
80
允许样品尺寸（mm）
φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15
外形尺寸（mm）
590*390*320
主机重量（kg）
28
型号
名称
数量
基本配置
TPY-2
椭圆偏振测厚仪主机
1台
主机电控箱
1套
二氧化硅膜样片
1片
椭圆偏振测厚仪专用软件
需另配
计算机及打印机
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