英国威格斯公司 (Victrex plc) 现已推出超高纯度 VICTREX? PEEK? (VICTREX UHP PEEK) 材料,为聚合物纯度设定了最新标准。VICTREX UHP PEEK是专门制造的聚合物,能够满足清洁室、湿、医药加工与分析化学应用的最严格纯度要求。VICTREX UHP PEEK不仅具有VICTREX 标准级别产品的全部机械性能、化学性能、热性能与摩擦性能,而且不含任何可能析出到液体或在真空或高温环境下发生释气的成分。
威格斯公司全球电子与半导体工业市场主管 John Getz 解释道:“半导体生制造商非常关心其材料中的杂质水平,尤其是金属离子的水平,因为它们可能迁移到晶圆上,造成缺陷,以致降低产量。与聚酰亚胺相比,VICTREX UHP PEEK的金属含量较低,其销售品种限定多种金属的含量不超过1 ppm。此外,与大多数聚酰亚胺材料不同的是,VICTREX PEEK 树脂可使用多种方式加工,提供了设计与生产自由度,并可帮助降低生产成本。
VICTREX UHP PEEK不仅具有卓越的整体纯度,而且其聚合物析出也极少。Getz指出:“超纯水中阳离子和阴离子析出实验的结果证实,VICTREX UHP PEEK能够满足这个行业的可萃取物 (extractables) 限制要求。”
此外,由于 VICTREX UHP PEEK 聚合物具有固有的稳定性,并采用独特的生产方法,因此其释气性能极低。Getz称:“把 VICTREX UHP PEEK在100°C (212°F) 下加热30分钟,其释放的挥发性有机物测试结果为零。”
VICTREX UHP PEEK具有卓越的耐等离子腐蚀性能,适用于半导体蚀刻加工过程。在样品板测试中所测试的全部气体混合物中,VICTREX UHP PEEK均表现出较聚酰亚胺优胜的耐久性。此外,VICTREX UHP PEEK还能够耐受半导体生产过程所用的各种湿化学品。