由中国科学院李林院士主持的国家自然科学基金重大项目(批准号：58790700)，在薄膜理论、薄膜材料、薄膜器件、薄膜工艺等方面开展了深入的研究，取得了一批创新性的成果，在国内外发表论文280多篇。

在薄膜材料方面，中国科学院物理研究所用直流磁控溅射和原位热处理法制得的钇钡铜氧和钆钡铜氧外延超导薄膜，电子衍射图表明薄膜是C-轴取向，而且单晶性强，其零电阻临界温度Tc≥92K,临界电流密度Jc达到3.8×106安/厘米2。薄膜的质量和工艺重复性达到了国际先进水平。该成果获两项专利，并获1991年中国科学院科学技术进步奖一等奖，1992年国家科学技术进步奖二等奖；中国科学院金属研究所在薄膜技术方面，对金属有机化合物化学气相沉积、等离子体化学气相沉积、离化原子团淀积以及兰缪尔-布洛杰特法(LB法)等新技术的开发和应用，进行了大量工作。其中青岛化工学院的等离子体化学气相沉积超硬膜的方法与装置，于1989年获国家发明奖三等奖，等离子化学气相沉积TiN及膜的研究，获化学工业部科学技术进步奖一等奖。

在薄膜器件方法，中国科学院物理研究所研制成功的高温超导微波低通滤波器和钆钡铜氧薄膜红外探测器，其性能分别达到和接近国际先进水平；山东大学在国内首次用金属有机化合物气相沉积技术研制成功微波HBT器件和DBRTD器件；中国科学院电子学研究所研制成功检测葡萄糖和尿素的两种酶生物传感器、固态pH值传感器，后者获1991年中国科学院科学技术进步奖三等奖。

在薄膜推广应用方面，PCVD-1型设备及技术，在世界上首次使等离子体化学气相沉积应用于机械行业的刀具和模具，并已先后转让给航天工业部510所和沈阳科仪厂；离子镀氮化钛涂层技术推广到深圳金属材料加工厂等8个单位。