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电子束刻蚀

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自石墨烯被首次发现以来,“二维材料”逐渐走入人们的视野,并成为材料领域的研究热点。然而如何突破材料本身性能,拓展其物理化学性质,是实现其走向应用的关键环节。通过自组装,电子束刻蚀和极紫外光刻等技术在石墨烯上制备微纳结构,能够调控其带隙、吸收、载流子迁移率等性能。但这些方法存在着耗时、成本高昂,缺乏通用性等问题。因此,如何降低成本,高效制备微纳结构石墨烯,成为...[更多]

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