多晶硅废气是指在光伏硅片生产过程中产生的废气，主要为酸碱废气和有机废气两种，这些废气不仅含有有毒有害物质，而且对环境造成严重污染。因其废气成分不同，它的处理工艺流程也有所不同。

一、工艺流程一

1、废气收集

将多晶硅生产过程中产生的废气集中收集起来，以便后续处理。

2、预处理

废气中含有大量的固体颗粒物和液体污染物，需要进行预处理，以防止这些物质对后续处理设备造成损坏。一般采用过滤器和除尘器等设备对废气进行预处理。

3、酸碱中和

多晶硅废气中常常含有大量的酸性气体和碱性气体，需要进行中和处理，以防止对环境和设备造成影响。一般采用酸性气体和碱性气体中和剂等设备进行中和处理。

4、氧化处理

废气中可能含有一些有机污染物，需要进行氧化处理，以将其转化为无害物质。一般采用氧化塔等设备进行氧化处理。

5、吸附处理

废气中的一些有害物质需要进行吸附处理，以将其去除。一般采用活性炭吸附剂等设备进行吸附处理。

6、排放

经过处理的废气达到国家或地区的环保标准后，可以安全排放到大气中。

二、工艺流程二

1、将含氯空气送入废气处理塔。

2、氯气与碱液中的NaOH反应生成NaClO、NaCl和H₂O。

3、使用事故风机抽出塔顶经处理达标的气体放空。

4、液体靠位差流入碱液循环槽，再用碱液循环泵抽出，经碱液循环冷却器用循环冷却水冷却后，送入废气处理塔顶用作吸收剂。

5、当循环碱液中NaOH浓度降到2～3%(w)时，停止使用工作槽中的碱液，切换到碱液循环备用泵，将备用槽中贮存的浓度为15%(w)的新鲜NaOH溶液送入废气处理塔吸收氯气。

三、工艺流程三

1、焚烧

将多晶硅废气送入焚烧炉进行高温氧化处理，使氯化硅烷得到彻底分解，生成二氧化硅、氯化氢等。

2、余热回收

焚烧后的高温烟气中含有大量热量，将其通入余热锅炉进行降温处理，同时回收其中余热，利用烟气余热来对脱盐水处理，将其变为蒸汽回收利用。

3、二氧化硅回收

将经过余热回收的烟气通过过滤器进行气固分离，消除烟气中含有的二氧化硅粉尘。

4、急冷

对经过二氧化硅回收处理的烟气进行急冷，以防止高温下的二氯二氢硅发生水解反应。

5、盐酸回收

将经过急冷的烟气通过石墨换热器与冷却水换热冷却后继续进行喷淋降温，并回收烟气内含有的盐酸。

6、洗涤塔处理

将经过盐酸回收处理的烟气再经过碱液洗涤塔淋洗后，利用气水分离器处理后排放。