微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
SC-SD-I狭缝式涂布机
产品介绍 1. 狭缝模头涂层宽度:50 mm(最大) 2. 狭缝模头垫片厚度:100 μm 3. 加热板温度:120 °C(最大) 4. 载物台行程长度:100 mm(最大) 5. 涂层厚度范围:1-1000 μm 6. 最小载物台速度:100 μm.s-1 7. 最大载物台速度:50 mm s-1 8. 最小注射器速度:12 μm.s-1 9. 最大注射器速度:5 mm.s-1 10. 最大头部到基板行程距离:13 mm 11. 电源:DC 24 V,6.2 A,通过 100-240v 50/60Hz 电源适配器 12. 尺寸:深 x 宽 x 高(360 mm x 280 mm x 190 mm) 13. 发货重量:<10 kg |
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