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SC-SU-I磁控溅射仪含真空泵含金属靶材
产品介绍 产品参数:
产品特色: · 4.3寸彩色触摸屏,图形化界面操作简单方便; · 石英腔分体结构设计,拆装方便; · 基片台高度可调,旋转调节简单快捷; · 可通工艺气体,流量调节快速方便; · 溅射结束自动充气功能,方便开盖取放、片; · 镀膜均匀致密,适用多种金属靶材; · 多重软件保护设置,安全耐用; · 外型紧凑小巧,节省空间;
· 极限真空:20Pa左右; · 工艺气路数:1路; · 石英腔尺寸:Φ150*90mm; · 靶材尺寸:Φ50*0.1mm; · 基片台尺寸:Φ68mm,基片台可调范围:0~20mm; · 适用基片尺寸:0~50mm;适用基片种类:Au,Ag,Pt等金属靶材; · 真空泵功率:0.55KW;抽速:4L/S; · 溅射仪外型尺寸:350mm(W)×335mm(D)×370mm(H); · 真空泵外型尺寸:526mm(W)×176mm(D)×270mm(H); · 产品质量:溅射仪,18 KG,真空泵,22KG。 · 宽电压适用,AC100-250V输入;
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