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白光干涉测厚仪
产品介绍 SuperViewW1白光干涉测厚仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。 白光干涉测厚仪产品功能1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等; 2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等; 3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面; 4、薄膜和厚膜的台阶高度测量; 5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量; 6、微电子表面分析和MEMS表征。 结果组成1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等; 2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等; 3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面; 4、薄膜和厚膜的台阶高度测量; 5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量; 6、微电子表面分析和MEMS表征。 应用领域SuperViewW1白光干涉测厚仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 |
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