D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜
D9650是现代超声波显微镜(AM)的标准,和上一代产品一样提供了较好的精度和稳健性,增加了一个合并了PolyGate技术和Sonolytics的改进型的电子与软件平台。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特性描述及低容量生产环境。
特点和优势
带有Multi-Gate及Probing-Gate 功能的PolyGate 技术,可以进行单一及多层自动聚焦成像
每频道多达100个Gates
Windows10Sonolvtics2界面,64字节处理能力
线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘
带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架,更加精准
方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便,可以扫描JEDEC托盘或300mm晶圆片
定量的B-Scan是Sonoscan独有的分析模式(Q-BAM)
BScan模式提供了虑拟横截面视图并带有准确的极性、幅值和深度数据