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钨蚀刻剂TFW
钨蚀刻剂TFW图片
货号: TSA0505-1GAL
品牌: Transene
参考价格: 3800元
交货期: 现货
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货号:TSA0505-1GAL
品牌:Transene
参考价格:3800元
交货期:现货
试剂产地:进口试剂
产品介绍

本品为钼和钨的选择蚀刻剂,可用于半导体和微电子技术。TFMTFW选择蚀刻剂是加有缓冲剂的呈中等碱性的氰化铁基蚀刻剂,其蚀刻图案分辩率高,边下蚀低,与光刻胶有良好匹配性。采用浸泡或喷涂技术可达到控制性均匀的蚀刻效果。

 

性质

 


TFM钼蚀刻剂

TFW钨蚀刻剂

外观

琥珀色水溶液

琥珀色水溶液

PH

10.0

8.0

稀释

用蒸馏水

用蒸馏水

可匹配光刻胶

阴性光刻胶:PKPTransene

KMER\KTFR\KPR

阴性和阳性光刻胶

冲洗

蒸馏水

蒸馏水

闪点

不可燃

不可燃

蚀刻速率



20


30 Å /秒(浸泡)



80 Å /秒(喷涂)

30

55 Å /


60

85 Å /


蚀刻能力

30g/加仑

64 g/加仑(10,000英寸2/5000 Å)


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