FM100-SE膜厚仪
产品介绍
产品性能介绍: 膜厚仪主要用于光面基底上的透明、半透明薄膜样品进行常规测量,可得到单层或少数多层薄膜的膜厚,也可以得到薄膜的光学参数(如,折射率n、消光系数k);适用于工业和科研中的常规测量,可应用于多种薄膜镀层工艺中,如化学机械抛光、化学气象沉积、物理气相沉积、硅片涂胶工艺等。 ◆ 快速测量:仅需1-2秒就可完成一次测量 ◆大范围膜厚测量:可测量膜厚范围从15nm – 70um ◆简洁操作:常规操作,只需点击一个按钮即可完 ◆高效稳定:适用于工业现场,稳定可靠 ◆经济实用:能够满足膜厚的常规测量,成本较低 产品参数说明: 一般指标: ● 光谱范围:370 – 1000 nm ●光谱分辨率:1.6 nm ●样品大小:典型晶圆尺寸12吋(即直径300mm) ●测量光斑:典型1.5mm ●膜厚测量范围(仅测膜厚时):15 nm – 100 um (对Si上的SiO2样品) ●膜厚测量范围(同时测膜厚和n、k时):100 nm以上 ●膜层数目:1-4层 光学和机械组件: ●光源:宽光谱光源 ●探测器:高灵敏低噪声阵列式光谱探测器 ●控制箱:含电路板、控制单元、电源、光源 ●输出设备:软件界面支持输出、输入光谱数据 性能指标: ●膜厚测量重复性:0.1 nm(对Si上100 nm的SiO2样品) ●准确度:2 nm或0.4%(对Si上的SiO2样品) ●单次测量时间:典型时间1-2秒,与测量设置和样品性质有关 软件: ●界面语言:多语言界面可选择(包括中/英文),默认中文 ●操作模式:一键式常规测量模式(初学者可方便应用);高级分析模式(可进行复杂材料的高级分析) ●光谱测量:手动/自动执行用户定义的任务;光谱以标准的波长单位显示 ●测量结果输出:反射率;膜厚、折射率、消光系数 ●建模、模拟和拟合:软件能够拟合多层结构(单层膜、多层膜) ●结果显示:显示图形;先进的报表功能,输出测量和计算光谱、光学模型和拟合参数 ●文件管理功能:软件基于Windows平台,提供全面的文件管理功能 用户评论 产品评分 目前评分共0人 产品质量
售后服务
易用性
性价比
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