一、功能特点
| 1. 光机电一体化设计，外形结构简单；2. 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；3. 精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；4. 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；5. 伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；6. 高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；7. 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；8. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；9. 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；10. 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。 |
二、友好的软件
1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式
3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图
4. 多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能
5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域
6. 激光光斑检测系统的实时调整功能
7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能
8. 可任意定义扫描图像的色板功能
9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能
10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正
11. 支持样品图片离线分析与处理功能
三、技术规格
| 名 称 | 参 数 | 名 称 | 参 数 |
| 工作模式 | 接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力 | 扫描角度 | 任意 |
| 样品尺寸 | Φ≤90mm，H≤20mm | 样品移动范围 | 0～20mm |
| *大扫描范围 | 横向50um，纵向5um | 光学放大倍数 | 10X |
| 扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm | 光学分辨率 | 1um |
| 扫描速率 | 0.6Hz～4.34Hz | 图像采样点 | 256×256，512×512 |
| 扫描控制 | XY采用18-bit D/A
Z采用16-bit D/A | 反馈方式 | DSP数字反馈 |
| 数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D
多路同步采样 | 反馈采样速率 | 64.0KHz |
| 仪器重量体积 | 40KG，700′480′450mm | 计算机接口 | USB2.0 |
| 运行环境 | 运行于WindowsXP/7/8操作系统 |
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