·颠覆性的技术革新,致轻、致小,完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
·2.83L/min,同时测试0.1、0.3μm微小粒子
·4.3英寸彩色触摸屏显示屏
·可使用附带软件在PC上显示测试数据
·设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
品名 | 尘埃粒子计数器 |
型号 | 3950 |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径(0.1、0.3μm) |
额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) |
测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) |
间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 |
地点设定 | 99个地点 |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算、ISO , GB*(共6种模式) |
测量数据显示时间 | 1~10秒 |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 |
最大可测浓度 | 10,000,000个/m3 |
计数效率 | 50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) 100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
伪计数 | <1个/35min |
粒径分辨率 | 15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) (符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
气源 | 内置泵 |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 |
通迅功能 | 本体 | USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
数据存储 | 媒体 | 内存 |
数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 |
显示语言 | 英文、日语 |
电 源 | AC100~240V |
使用环境 | 本体 | 15~35℃、0~85%RH (无结露) |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm |
重 量 | 3.4kg |