参数:
频率:13.56MHz
RF最大功率:50W(高中低段可调)
石英腔体尺寸:直径:74mm;深度:185mm
机器尺寸:220mm(高)X254mm(宽)X205mm(深)
机器重量:6KG
流量计和压力表头(可选):0-160ml/min 0 Pa-大气压
机械泵(可选):3L