产品参数：

产品特色：

· 4.3寸彩色触摸屏，图形化界面操作简单方便；

· 石英腔分体结构设计，拆装方便；

· 基片台高度可调，旋转调节简单快捷；

· 可通工艺气体，流量调节快速方便；

· 溅射结束自动充气功能，方便开盖取放、片；

· 镀膜均匀致密，适用多种金属靶材；

· 多重软件保护设置，安全耐用；

· 外型紧凑小巧，节省空间；

性能参数： 

· 极限真空：20Pa左右；

· 工艺气路数：1路；

· 石英腔尺寸：Φ150*90mm；

· 靶材尺寸：Φ50*0.1mm；

· 基片台尺寸：Φ68mm，基片台可调范围：0~20mm；

· 适用基片尺寸：0~50mm；适用基片种类：Au，Ag，Pt等金属靶材；

· 真空泵功率：0.55KW；抽速：4L/S;

· 溅射仪外型尺寸：350mm（W）×335mm（D）×370mm（H）；

· 真空泵外型尺寸：526mm（W）×176mm（D）×270mm（H）；

· 产品质量：溅射仪，18 KG，真空泵，22KG。

· 宽电压适用，AC100-250V输入；