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A3-S高精度薄膜厚度测量仪
A3-S高精度薄膜厚度测量仪图片
品牌:上海螣芯
参考价格:120000元/台
交货期:1个月
产地:苏州


产品介绍

高精度膜厚仪|薄膜厚度测量仪|光刻胶厚度测厚仪 



常见应用

半导体膜层液晶显示器
光刻胶     OLED
加工膜层玻璃厚度
介电层ITO和TCOs
光学镀层生物医学
硬涂层   聚对二甲苯
抗反射层医疗器械

产品型号 A3-SR-100

产品尺寸 W270*D217*(H90+H140)测试支架(配手动150X150毫米测量平台和硅片托盘)

测试方式 可见光,反射

波长范围 380-1050纳米

光源 钨卤素灯(寿命10000小时)

光路和传感器 光纤式(FILBER )+进口光谱仪

入射角 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE)

参考光样品 硅片

光斑大小 LIGHT SPOT About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置)

样品大小 SAMPLE SIZE 150mm,配150X150毫米行程的工作台和6英寸硅片托盘

膜厚测量性能指标(THICKNESS SPECIFICATION):

产品型号 A3-SR-100

厚度测量 1 Thickness 15 nm - 100 um

折射率 1(厚度要求)N 100nm and up

准确性 2 Accuracy 2 nm 或0. 5%

精度 3 precision 0.1 nm

1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能

2 使用硅片上的二氧化硅测量,实际上材料和待测结构也会影响性能

3 使用硅片上的二氧化硅(500纳米)测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.


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上海螣芯电子科技有限公司
电话: 点击&查看
联系人: 娄经理
地址: 上海市青浦区海盈路
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