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精密型组合式探针台
精密型组合式探针台图片
型号:TLRH
品牌:PLCTS
交货期:3-4周
产地:江苏南京
自动化度:手动


产品介绍

产品优势

模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;

探针台整体位移精度达3um,样品台四维精密调节;

兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试;

兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜,可360°旋转及微调升降;

漏电精度可达10pA/100fA/10fA(屏蔽箱内);

探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;

满足1um以上电极/PAD使用;

加宽探针架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;

搭配显微镜二维精密调节功能,且可选配多种位移行程及驱动方式。
产品介绍
谱量根据客户实际应用需求,推出该款结构小巧,功能实用,性价比高的简易模块化探针台,该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、隔振平台等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、侧料电阻率测试以及搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。


技术参数

样品台位移行程
XY110mm,Z轴10mm,360°粗调,±5°精调
样品台位移精度
3um
样品台背电极测试功能
可引出背电极
真空吸附
进口无油真空泵,7L/min
样品固定方式
环形真空吸附
探针座行程
XYZ均13mm
探针座位移精度
3um(可选配升级1um,电动)
漏电精度
100fA(三同轴线缆)
探针座安装方式
可调磁力吸附(可升级真空吸附)
探针座接口形式
三同轴接口
显微成像方式
双目体视显微镜(可升级金相显微镜)
显微镜放大倍数
~270倍(可选配升级更高倍数)
图像传感器
2000W高清,支持PC端通讯传输
中心距离
140mm,升降范围270mm,总高度350mm
显微镜位移行程
XY行程25mm/50mm,分辨率3um
显示器
22寸高清显示器,HDMI高清接口



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联系人: 张强
地址: 栖霞区科创路1号
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