直读光谱仪利用激发光源对样品表面进行瞬时激发，对形成的光谱进行测量，进而了解测量样品面的元素含量分布，我们需要怎么做才能保证直读光谱分析仪的测量准确性？

压火花以及控波型光谱分析仪光源是在电容电场作用下，采用控制气氛中放电；火花光谱分析仪光源是在直流电场作用下，稀薄控制气氛中放电；等离子体火花式光谱仪光源是在射频电磁场作用下控制气氛中放电(电极之间的电压以及电流的关系不遵守欧姆定律的)。

光谱分析仪光源的作用是将待测元素变成气体状态，而后激发成光谱，根据该元素谱线强度转换成光电流，由计算机控制的测光系统按谱线的强度换算成元素的含量。

光源作用的这种动态过程，就是将样品由固态变成气态，其中一部份元素激发而发射光谱，而这些气态的样品又不断地向四周扩散，分析间隙的气态样品也在不断更新，以求达到一个动态平衡，当火花光谱分析仪光源激发一定时间后，蒸气云中待测元素浓度增大，只有蒸气云中浓度足够大，才能得到大的光电信号。

直读光谱分析仪能否稳定正常运行，直接影响到了仪器测量数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。先要做试验，打开控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。

直读光谱分析仪仪器性能的稳定性和日常的维护保养不可分割，维护越好，其实用寿命也越久。