一般来说旋片式真空泵出现泵温升高的时候，往往会让泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；让橡胶件容易老化，使热膨胀进行运转的间隙缩小，特别是旋片式真空泵内部某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，是可以直接影响到泵运转的可能性。而泵温过高的原因，通常会是进气温度太高、进气冷却装置失效、泵长期连续运转入口压力太高、泵冷却水量不足、循环水设计效果不佳以及温控水量调节阀失效等状况。