| CAS： | 75-73-0 |
| 名称： | 四氟化碳 四氟甲烷 carbon tetrafluoride tetrafluoromethane |
| 分子式： | CF4 |
| 分子量： | 88.01 |
| 有害物成分： | 四氟甲烷 |
| 健康危害： | 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 |
| 燃爆危险： | 本品不燃，具窒息性。 |
| 吸入： | 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 |
| 危险特性： | 不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 |
| 有害燃烧产物： | 氟化氢。 |
| 灭火方法： | 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 |
| 应急处理： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 |
| 操作注意事项： | 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 |
| 储存注意事项： | 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
| 工程控制： | 生产过程密闭，全面通风。 |
| 呼吸系统防护： | 一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。 |
| 眼睛防护： | 一般不需特殊防护。 |
| 身体防护： | 穿一般作业工作服。 |
| 手防护： | 戴一般作业防护手套。 |
| 其他防护： | 避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 |
| 主要成分： | 纯品 |
| 外观与性状： | 无色无臭气体。 |
| 熔点(℃)： | -183.6 |
| 沸点(℃)： | -128.0 |
| 相对密度(水=1)： | 1.61(-130℃) |
| 饱和蒸气压(kPa)： | 13.33(-150.7℃) |
| 燃烧热(kJ/mol)： | 无意义 |
| 临界温度(℃)： | -45.5 |
| 临界压力(MPa)： | 3.74 |
| 闪点(℃)： | 无意义 |
| 引燃温度(℃)： | 无意义 |
| 爆炸上限%(V/V)： | 无意义 |
| 爆炸下限%(V/V)： | 无意义 |
| 溶解性： | 不溶于水。 |
| 主要用途： | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
| 禁配物： | 强氧化剂、易燃或可燃物。 |
| 急性毒性： | LD50：无资料 LC50：无资料 |
| 其它有害作用： | 该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。 |
| 废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
| 危险货物编号： | 22033 |
| UN编号： | 1982 |
| 包装类别： | O53 |
| 包装方法： | 钢质气瓶。 |
| 运输注意事项： | 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。 |
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